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半导体设备
作为启元气体全资子公司,上海帕缔氪半导体材料有限公司(PTK),为集成电路行业企业提供极具竞争力的设备以及高质量的配套服务。
依托母公司强大的技术团队和深厚的技术底蕴,以深冷技术为基础,自主研发了一系列气体分离提纯设备,并依托于产业链的衍生,开发了包括纯化器、尾气处理设备等半导体级别产品,可为客户提供完整气体设备综合解决方案。
Core Services 核心业务
启元气体可提供包括电子气体生产、电子设备制造及大宗气体供气在内的完整电子气体供应解决方案。
电子特气
Electronic Speciality Gas
半导体设备
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大宗气体
Bulk Gas