工程中心

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中小型空分设备的研发及制造:高纯度制氮机和制氧机,目前在全世界启元生产的在运行的空分设备超过200套。

电子特种气体精炼系统的研发及制造:以深冷技术为基础,开发了具有自主知识产权的氪氙分离提纯系统,氖氦分离提纯系统,超纯液氧系统和超纯二氧化碳系统,后期将关注其他特气的纯化系统。

尾气及液体传输设备研发及制造:拥有整个韩国团队的技术和知识产权,产品可应用于HCDS、TEOS、TiCl4、TCS、TMA等产品,尾气处理系统通过湿洗、干洗及PLASMA等工艺来实现降低污染指数,保护大气环境。