上海帕缔氪半导体材料有限公司

上海帕缔氪半导体材料有限公司是上海启元气体发展有限公司于2020年成立的全资子公司。是一家以中国为生产基地,面向全球的半导体设备公司,为集成电路行业企业提供极具竞争力的设备以及高质量的配套服务。
       帕缔氪依托母公司上海启元气体发展有限公司强大的技术团队和深厚的技术底蕴,以深冷技术为基础,自主研发了一系列分离提纯设备,包括氪氙分离提纯设备、氖氦分离提纯设备、高纯氧分离设备、高纯氮分离设备、高纯二氧化碳设备等,其生产的最终产品纯度达到6N(99.9999%)水平,完全满足半导体以及平板显示企业的要求。
        同时帕缔氪拥有完整的韩国技术团队和知识产权,在中国大陆进行尾气处理设备及液体传输设备LDS(Liquid Delivery System)的研发和生产。协助气体板块为半导体制造企业提供全方位的方案解决和服务。