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品牌故事

启途千里万气归元

上海启元气体发展有限公司立足于半导体设备、电子气体、化学品材料供应及服务，成为国内领先的半导体制程解决方案控股企业

临沂启元气体有限公司是上海启元气体发展有限公司于 2010 年 9 月在山东省临沂市成立的全资子公司。

为满足客户玻璃生产工艺需要，临沂启元气体有限公司在客户厂区内建设空分制氮装置，以自己独具特色的设备及工艺，为客户的玻璃生产线提供高质量的管道氮气，同时利用自有技术生产电子级超纯氧供应半导体终端客户。

上海启元特种气体发展有限公司坐落于上海市奉贤区化学工业园，为国内领先的电子特气精炼中心。

所有的生产设备均由公司自行设计制造并拥有自主知识产权。公司生产的氪气、氙气、氖气、氦气、二氧化碳、液氧和激光气体等产品都能达到电子级规格，以此正式向半导体及面板等终端提供高品质电子特气产品。

作为启元气体全资子公司，上海帕缔氪半导体材料有限公司（PTK），为集成电路行业企业提供极具竞争力的设备以及高质量的配套服务。

依托母公司强大的技术团队和深厚的技术底蕴，PTK 以深冷技术为基础，自主研发了一系列气体分离提纯设备，并依托于产业链的衍生，开发了包括纯化器、尾气处理设备等半导体级别产品，可为客户提供完整气体设备综合解决方案。